Φ600 mm波长调谐干涉仪的振动误差抑制算法

摘要：

为抑制Φ600mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差,研究了波长调谐振动抑制算法.该算法构建了基于波长调谐移相的振动理论模型,在此基础上建立光强与初始相位的关系曲线,从它的频谱中提取谐波系数用于修正初始相位,解算出真实相位.引入评价参数误差抑制系数,将该算法应用于Φ600 mm波长调谐平面移相干涉仪,经过振动抑制算法的处理,振动引起的二倍频"纹波"误差得到较好的抑制,波面峰谷值由0.1180λ降至0.0951λ(λ为波长),均方根值由0.0164λ降到0.0135λ,结果验证了振动抑制算法在波长调谐移相干涉仪上的有效性.

关键词：测量、移相干涉、波长调谐、大口径干涉仪、振动抑制

所属期刊栏目：42

分类号：O436(光学)

资助基金：江苏省自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-03-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：96-103