熔石英元件紫外脉冲激光辐照损伤特性研究进展综述

摘要：

熔石英光学元件在高能量密度的紫外脉冲激光辐照下往往极易出现后表面损伤,这严重影响了紫外高功率脉冲激光装置的可靠性.综合国内外相关研究进展,系统阐述了熔石英元件表面在高能量紫外脉冲激光辐照下的损伤特性,包括典型的初始损伤和损伤增长行为特征,介绍了熔石英元件表面缺陷的类型、分布特性和紫外脉冲激光诱导损伤的内在机制,并概述了常用的熔石英表面加工方法与缺陷控制技术.最后,介绍了熔石英表面缺陷无损检测新技术和抗损伤性能测试技术方面的研究进展.

关键词：激光光学、熔石英元件、紫外脉冲激光、缺陷、后表面损伤

所属期刊栏目：42

分类号：O437(光学)

在线出版日期：2022-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共23页

页码：271-293