高折射率厚平面光波导与光纤的水平耦合技术研究

摘要：

光纤与平面光波导高效耦合是光波导器件互联设计中的重要环节,常用的倒锥波导已经解决了光纤与波导芯片之间的模式不匹配问题.然而,高折射率差波导与光纤耦合时通常需要较小的尖端尺寸(＜180 nm),加工复杂且波导易坍塌.设计了一种宽波段(可见光和近红外波段)光纤-波导水平耦合器,通过引入聚合物SU-8锥形结构,提高了三端口分支波导的线宽,实现了 850 nm波段超过300 nm的1 dB有效带宽.

关键词：集成光学、耦合器、波导、光通信、聚合物波导

所属期刊栏目：42

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;快速扶持项目;陕西省科技成果转移与推广计划项目;陕西省教育厅服务地方专项计划项目;陕西省教育厅专项科研计划项目;西安市科技创新人才服务企业项目;西安市科技计划项目;碑林区科技计划项目

在线出版日期：2022-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：178-184