正交光栅相移轮廓术的相位误差分析及其校正

摘要：

正交光栅投影的相移轮廓术(PSP),可通过某一特定方向的相移(常利用相移调节因子来控制相移方向),获取两个相互正交的相位.但该方法对系统的非线性响应敏感,且目前尚未被深入讨论.为此,分析了系统的非线性响应对正交光栅相移轮廓术测量的影响,推导了带有非线性误差的相位表达式,并分析了两个方向相位相互串扰的原因.在此基础上,分别研究了抑制非线性误差的主动校正法和被动校正法,提出了可消除2阶非线性误差的双5步相移法,并利用基于统计分析的伽马校正法确定系统伽马值,主动改变正交条纹编码来抑制非线性误差.同时,完成了两种方法的对比,计算机仿真和实验结果表明,主动伽马校正法更实用.

关键词：测量、相移轮廓术、正交光栅投影、非线性分析、相位分析、相位误差校正

所属期刊栏目：41

分类号：O438(光学)

资助基金：国家自然科学基金;国家重大科学仪器设备开发专项

在线出版日期：2021-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：87-98