光学自由曲面面形检测方法进展与展望

摘要：

光学自由曲面具有强大的矫正像差和优化系统结构的能力,被誉为现代光学系统的变革性元件.但是,自由曲面面形过于复杂,其高精度检测存在巨大的难度,这限制了自由曲面面形的制造水平,其大规模应用也受到限制.目前,光学自由曲面的检测技术主要是从非球面检测技术发展而来的.回顾了近年来光学自由曲面检测方法的发展历程,着重分析了几种典型的检测方法及其特点,并展望了自由曲面检测技术的未来发展趋势.

关键词：测量、光学自由曲面、面形检测、轮廓法、结构光、干涉法

所属期刊栏目：41

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金;装备发展部预研领域基金项目

在线出版日期：2021-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共18页

页码：154-171