振镜激光扫描测量系统误差分析与补偿

摘要：

振镜扫描系统因其具有高速和高精度等优点被广泛应用于激光快速成型、激光精密打标和激光扫描测量等诸多领域,但因振镜系统的引入而存在系统测量误差.鉴于此,首先搭建线激光一维振镜扫描系统并采用双棋盘格标定板的标定方法对系统进行标定,然后建立系统的误差模型并对扫描过程中的测量误差进行理论分析,最后针对振镜转角误差提出一种基于查表法的补偿方法.实验结果表明,当测量工作距离为250 mm左右时,误差补偿后,中心距离的方均根误差从0.733 mm降低至0.061 mm,标准差从0.200 mm降低至0.060 mm,说明该方法能够显著提高系统的测量精度和鲁棒性.

关键词：机器视觉、误差补偿、振镜扫描、线结构光测量

所属期刊栏目：40

分类号：TH-39

资助基金：优秀青年科学基金;陕西省科技创新团队项目;陕西省重点研发计划

在线出版日期：2021-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：156-168