硫系玻璃基底减反保护膜及其耐环境适应性的研究

摘要：

基于硫系玻璃IRG206(As40Se60)基底,研制了8～12μm波段的减反保护膜.该薄膜包含介质膜与类金刚石(DLC)保护膜两部分,可用于无热化红外探测系统窗口片中.研究了介质膜的破损机理,通过优化介质膜的沉积温度,提高了介质膜的附着力.研究了压强对DLC薄膜微观结构和应力的影响,通过将DLC薄膜拆分为低应力黏结层与高应力耐摩擦层,提升了薄膜耐摩擦性能与膜层牢固度,并降低了膜层应力.测试结果表明,减反保护膜在8～12μm波段的平均反射率为3.0％,且通过了GJB2485-1995标准测试中的盐雾测试、高低温测试和重摩擦测试,具有良好的耐环境适应性能.

关键词：薄膜、光学薄膜、窗口片、应力、耐摩擦

所属期刊栏目：40

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：十三五装备预备基金414xxxx0202

在线出版日期：2021-03-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：213-219