硫系玻璃基底减反保护膜及其耐环境适应性的研究
基于硫系玻璃IRG206(As40Se60)基底,研制了8~12μm波段的减反保护膜.该薄膜包含介质膜与类金刚石(DLC)保护膜两部分,可用于无热化红外探测系统窗口片中.研究了介质膜的破损机理,通过优化介质膜的沉积温度,提高了介质膜的附着力.研究了压强对DLC薄膜微观结构和应力的影响,通过将DLC薄膜拆分为低应力黏结层与高应力耐摩擦层,提升了薄膜耐摩擦性能与膜层牢固度,并降低了膜层应力.测试结果表明,减反保护膜在8~12μm波段的平均反射率为3.0%,且通过了GJB2485-1995标准测试中的盐雾测试、高低温测试和重摩擦测试,具有良好的耐环境适应性能.
薄膜、光学薄膜、窗口片、应力、耐摩擦
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O484(固体物理学)
十三五装备预备基金414xxxx0202
2021-03-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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