制造误差对大尺度超振荡平面透镜聚焦性能的影响

摘要：

针对大尺度超振荡平面透镜(SOL)的实际应用,基于严格的矢量角谱理论定量研究了多种典型制造误差对大尺度SOL聚焦性能的影响规律.理论计算结果表明:横向环带制造误差对振幅型SOL(金属膜)和相位型SOL(介质层)聚焦性能的影响规律基本一致,环带中心位置偏差主要影响SOL的聚焦焦距,环带宽度偏差主要影响SOL的聚焦光斑分布;±150 nm范围内的位置偏差和宽度偏差是大尺度SOL各环带的最大制造允许公差;对于相位型SOL,纵向刻蚀深度偏差主要影响聚焦光斑的强度,7相位差对应的聚焦光斑强度最大;为使相位型SOL聚焦光斑保持较高强度,应使介质层刻蚀深度对应的相位调制量保持在(0.8～1.2)π的范围内.

关键词：衍射、超振荡平面透镜、振幅型透镜、相位型透镜、制造误差、超分辨

所属期刊栏目：40

分类号：O436.1(光学)

资助基金：优秀青年科学基金;国家重点研发计划

在线出版日期：2020-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：41-50