蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜透射谱研究

摘要：

全组分AlGaN是指Al组分(原子数分数)在0～1之间的AlGaN.通过将组分引入到AlGaN的复折射率中,在200～800 nm光谱范围内建立了全组分AlGaN复折射率公式.通过椭圆偏振法获得了蓝宝石的光学参数,并利用透射谱进行了验证.利用上述复折射率公式和多层光学薄膜模型研究了蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜样品的透射谱,分析了各层薄膜对样品透射谱的影响以及工艺可能造成的实际结构的偏移,提出了一种多层薄膜透射谱的快速分析法.

关键词：薄膜、AlGaN、全组分、光学性质、多层薄膜模型、透射谱拟合

所属期刊栏目：40

分类号：O484.4+1(固体物理学)

在线出版日期：2020-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：213-222