内嵌对称扇形金属谐振腔的MIM可调谐等离子体滤波器

摘要：

采用有限元方法设计了一种基于金属-电介质-金属(MIM)的内嵌对称扇形金属块的纳米圆形谐振腔滤波器.研究发现,通过改变扇形共振角度、圆形谐振腔半径、耦合距离、共振腔内的介质折射率等主要参数可有效调节该结构的透射特性.该滤波器同时出现两个显著的共振峰,透射率最高可达76％,品质因子最高可达40,能高效实现可调谐双通道带通滤波功能.对结构参量进行调整和优化,相应的谐振波长可分布在近红外波段光纤通信的850 nm和1310 nm通信窗口.该结构为设计光通信领域下一代高性能微纳等离子体滤波器提供了重要的理论依据.

关键词：表面光学、有限元方法、圆形谐振腔、内嵌对称扇形金属块、等离子体滤波器

所属期刊栏目：40

分类号：TN491(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;广西自然科学基金;广西自然科学基金;广西自动检测技术与仪器重点实验室基金;广西自动检测技术与仪器重点实验室基金;广西自动检测技术与仪器重点实验室基金;广西精密导航技术与应用重点实验室基金;广西精密导航技术与应用重点实验室基金;桂林电子科技大学研究生教育创新项目

在线出版日期：2020-07-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：184-191