穆勒矩阵成像椭偏仪误差源的简化分析方法

摘要：

针对穆勒矩阵成像椭偏仪的系统误差源提出一种简化分析方法,将光强曲线的理想傅里叶级数系数组与实际系数组进行近似匹配,建立穆勒矩阵测量误差与误差源参数之间的线性模型.针对解析式复杂的随机方位角误差,从统计学角度提出了一种等效噪声模型以分析其对测量结果的影响.采用上述简化方法系统分析了椭偏仪的6种系统误差源和2种随机误差源对穆勒矩阵测量结果的影响,并以一个典型光刻投影物镜的穆勒光瞳为检测对象,进行了检测仿真.仿真结果验证了所提方法分析的准确性.

关键词：成像系统、光刻、偏振像差检测、穆勒矩阵成像椭偏仪、误差分析

所属期刊栏目：39

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家科技重大专项;国家科技重大专项;国家自然科学基金;上海市自然科学基金

在线出版日期：2019-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：140-151