基于原子层沉积技术的石英管表面减反射膜的制备

摘要：

采用原子层沉积(ALD)技术在石英管表面制备了薄膜,研究了该薄膜的均匀性,以及石英管的内径、外径、长度对沉积薄膜均匀性的影响.以单波长减反射膜为研究对象,实验测试的反射光谱与仿真结果一致,石英管表面最低反射率可降至0.17％.忽略夹具影响,石英管外壁与内壁的减反射薄膜的非均匀性基本一致,在±1.69％范围内,内外壁表面减反射薄膜的厚度和中心波长相同,且石英管尺寸对内外壁薄膜均匀性无明显影响.利用ALD技术可在大曲率元件的内外表面沉积厚度偏差小且均匀性分布相似的减反射薄膜.

关键词：表面光学、原子层沉积、石英管、减反射膜、均匀性

所属期刊栏目：39

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：装备预先研究项目;国家自然科学基金

在线出版日期：2019-06-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：364-371