数字微镜器件在会聚成像光路中的像差分析

摘要：

数字微镜器件(DMD)应用于会聚成像光路中时,其表面微镜绕各自旋转轴做偏转运动,且微镜相对平面反射镜呈非连续分布,这导致了经过DMD反射后的光束轴外视场主光线与轴上视场主光线存在光程差.利用几何光学和像差理论,在基于DMD的会聚成像光路中得到了DMD面上的像高、光线入射角度、DMD像素大小及偏转角与最终光程差之间的关系.分析了影响光学系统像质的因素及补偿方法,并通过仿真模拟和实验验证了理论的正确性.该研究结果对采用DMD器件的光学系统设计和装调均具有重要意义.

关键词：成像系统、成像分析、光程差、数字微镜器件、焦深

所属期刊栏目：39

分类号：O435.1(光学)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项2017YFF0107901

在线出版日期：2019-06-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：136-141