大角度宽光谱红外成像系统灰度调节膜的研制

摘要：

随着现代光学测试技术的不断发展,对图像处理技术的要求越来越高.灰度级层次蕴含了图像细节的重要信息,因此改变图像灰度级可以使图像的细节更清晰.通过滤光技术可以形成不同的灰度级.依据光学薄膜理论,并结合膜系设计软件,通过建立膜系优化评价函数,实现了0°～60°入射3～5tm滤光膜的设计,并采用真空沉积技术研制了灰度调节膜.通过在钼舟上方放置铜网,解决了由于SiO沉积速率不稳定产生的膜层表面缺陷的问题;采用逆向分析法对实验测试结果进行模拟,通过调整膜层监控方式,使膜系的敏感层厚度得以精准控制,降低了膜厚控制误差,从而平滑了光谱曲线.经过测试,制备的灰度调节膜满足红外成像系统灰度级调节的要求,并通过了相关环境测试.

关键词：薄膜、红外成像、灰度级、调节膜、逆向分析

所属期刊栏目：36

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：吉林省重大科技攻关专项20140203002GX

在线出版日期：2017-05-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：303-311