基于组合Fabry-Perot膜系的中波红外双色滤光片设计

摘要：

双色滤光片的膜系设计方法有多种,如自动优化设计、缓冲层和组合膜系设计、加厚间隔层的Fabry-Perot(F-P)膜系、双峰结构F-P膜系的多次重复,以及具有分形结构的F-P膜系设计等方法.但它们在特定通道带宽和通道间距要求的膜系设计中,或者在膜系的工艺可实施性方面存在一定的局限性.运用目标光谱拟合优化后的两个具有增透带的F-P膜系相组合的设计方法,有效解决了较宽通道带宽和较大通道间距的双色滤光片的设计问题.采用Ge和SiO两种材料,利用有限的38层薄膜,在中波红外波段设计出了波形良好的双色滤光片,其两个通道的相对带宽均为9％,两个通道中心波长位置比可以在1.4～5.0的范围内进行调整,通带边缘陡度不大于2.0％.这种膜系结构的双色滤光片具有通带宽度和位置方便调控的特点,并有较强的可实施性.

关键词：光学设计、光学薄膜、双色滤光片、膜系设计、法布里-珀罗滤光片、红外滤光片

所属期刊栏目：36

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：中科院上海技术物理研究所创新专项CX-23

在线出版日期：2017-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：195-202