毫秒激光辐照单晶硅的在线应力损伤研究

摘要：

为了测量毫秒脉冲激光辐照非透明材料的在线应力及应力应变演化的过程,基于光学干涉理论,针对大功率固体激光器与材料的相互作用,采用马赫-曾德尔干涉的方法,得到了材料损伤的干涉条纹.通过对干涉条纹变化的分析与处理,可以得到材料在线应力及其演化过程.基于光学干涉理论,选择单晶硅作为实验材料,建立comsol仿真模型,并在理论及仿真的基础上开展实验.实验与仿真的r(x)方向误差在11.7％～33.91％之间,z(y,z)方向误差在20.25％～31.34％之间,说明用马赫-曾德尔干涉的方法测量非透明材料的应力具有可行性.实验研究为激光与非透明材料作用过程中在线应力损伤及演变过程研究提供了一个新的方法.

关键词：相干光学、毫秒脉冲激光、单晶硅、热应力损伤、马赫-曾德尔干涉、在线应力

所属期刊栏目：36

分类号：O438(光学)

在线出版日期：2017-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：163-170