极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化

摘要：

高数值孔径(NA)、大视场极紫外光刻物镜光学系统是实现22 nm及以下技术节点产业化光刻系统的关键部件.通过对光刻物镜系统结构的分析,利用可视化对其初始结构进行分组构造.并在此基础上采用一种渐近式NA方法获得了弦长为26 mm,宽2mm的弧形视场内复合波像差优于均方根(RMS)为λ/50的物镜系统.借助Q型多项式,使物镜光学元件非球面度低于45μm,最大口径小于400 mm,全视场波像差优于0.027 λ RMS,畸变优于1.5 nm.

关键词：光学设计、极紫外光刻、可视化界面、初始结构

所属期刊栏目：35

分类号：O436(光学)

资助基金：国家科技重大专项2008ZX02501-008

在线出版日期：2016-01-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：127-135