正交柱面镜像散位移测量方法的研究

摘要：

为了实现物体位移测量的高精度,无损伤和简单化,对柱面镜像散效应进行了研究,利用正交柱面镜像散效应实现物体的位移测量.根据高斯光线追迹的矩阵方法,建立正交柱面镜的矩阵光线传播模型,并利用Zemax进行仿真验证;给出了正交柱面镜像散位移测量系统的矩阵传播模型,并具体分析了系统的量程和分辨率;进行实验验证,在5.6 μm量程范围内,实现了精度为200 nm的移位测量.该方法为位移测量提供了一种新的非接触、高精度的光学测量方式.

关键词：测量、正交柱面镜、像散原理、矩阵光学

所属期刊栏目：35

分类号：TP394.1;TH691.9(计算技术、计算机技术)

资助基金：中国科学院项目（非规范项目）;总装备部预研项目

在线出版日期：2015-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：196-201