金刚石车削表面微纳织构的气囊抛光改进

摘要：

单点金刚石车削技术被广泛应用于光学表面的超精密加工.然而,车削表面固有的周期性残留刀痕结构将增强表面散射效应,恶化元件光学性能.为了抑制散射以获得高质量光学表面,采用气囊抛光技术主动改变车削表面周期性刀痕结构.基于Taguchi正交试验,以表面粗糙度及功率谱密度的改善率为设计指标,分析获得了最优抛光参数.采用该最优参数对一精车表面进行了抛光试验,抛光后表面粗糙度Ra由3.81 nm降到1.42 nm,各空间频率功率谱密度大幅降低,同时表面的衍射条纹消失.试验结果验证了所采用的抛光及相应优化方法的有效性,具有重要的工程应用价值.

关键词：光学制造、金刚石车削、表面微观形貌、气囊抛光、参数优化

所属期刊栏目：35

分类号：O436(光学)

资助基金：香港创新科技基金GHP/021/11

在线出版日期：2015-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：262-268