膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进

摘要：

为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价.首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统分析了膜层引入的偏振像差,并在设计时对膜层引入的离焦项和球差项进行了间隔优化补偿,补偿前后标量波像差和质心畸变分别从68.92 nm和3.76 nm改善为1.08 nm和0.38 nm,偶极照明模式下90 nm密集线条对比度从0.082提高为0.876,在此基础上,提出在设计时根据不同表面的入射角分布情况,采用组合膜系,同时控制P光和S光的振幅和相位分离,减小膜系引入的延迟和二次衰减等偏振像差,使得线条对比度提高了1.1％.

关键词：光学制造、投影光刻物镜、膜系、偏振像差、对比度

所属期刊栏目：35

分类号：O436(光学)

资助基金：国家科技重大专项2009ZX02205

在线出版日期：2015-03-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：338-345