基于迭代算法的两平板互检求解方法

摘要：

提出了一种基于两平板绝对检验的迭代面形恢复算法.算法基于两平板互检方法,通过分别翻转和旋转其中一块平板,获得4次两两测量结果.对测量得到的4个结果数据进行翻转和旋转逆操作,直接推导出三个面形与测量结果及相互之间的关系公式.设置初始面形,逐次迭代逼近4次测量结果.实验表明,该方法仅需要50次以内迭代,即可得到偏差小于0.1 nm均方根值的绝对面形.详细分析了实验过程中的各项误差来源,并对每项误差进行了定量计算,获得总的测量误差为1.417 nm.

关键词：测量、绝对检测、两平板互检、迭代算法

所属期刊栏目：34

分类号：O439(光学)

资助基金：中国工程物理研究院资助项目GFZX02080201.1

在线出版日期：2015-01-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：121-126