一种新型差分平面镜干涉仪

摘要：

针对传统差分平面镜干涉仪结构复杂、需要光学部件多从而导致系统调试困难、测量信噪比低等缺点,提出了一种结构简单需要光学部件少的新型差分平面镜干涉仪系统.此干涉仪能够产生对称的空间四光路,对环境因素(湿度、温度及大气压)的变化有很好的抗干扰能力,测量分辨率高.如果附加其他光学元件,可轻易实现对偏摆角、微滚转角、直线度等几何量的测量.静态状态下,其位移漂移小于1 nm,而同等条件下传统迈克耳孙干涉仪漂移大于10 nm.基于此系统的精密角度测量干涉仪,使用电子细分为2π/516的相位计,可以得到0.024 μrad的测量分辨率.

关键词：测量、外差干涉仪、差分平面镜干涉仪、光程死区

所属期刊栏目：34

分类号：TN741(基本电子电路)

资助基金：国家自然科学基金;上海市研究生创新项目

在线出版日期：2014-12-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：171-175