提高平行光管分划板装调精度新方法研究

摘要：

推导了分划板失调量与待测系统调制传递函数(MTF)下降之间的解析表达式,对光管和待测系统焦距比与分划板装调精度之间的数学关系进行仿真分析,发现焦距比为1,分划板轴向装调误差为0.0012 mm引起的待测系统MTF下降为0.01.据此提出依据Zernike系数定量指导装调,采用数字干涉仪与平行光管、分划板构成干涉光路进行逐次迭代调整的方法.实验与数学分析均表明,上述方法可显著提升分划板装调精度,其引起的探测器离焦导致的MTF下降可控制在0.013.实验结果与理论值之间的偏差表明,环境扰动等不确定度对标定精度产生影响,在测试环境良好的条件下采用上述装调方法,使用焦距与待测光电系统焦距相当的平行光管就可满足高精度光学标定与装调的测试需求.

关键词：测量、光学检测、装调与标定、猫眼干涉法、平行光管、分划板

所属期刊栏目：34

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金61307114

在线出版日期：2014-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：149-155