亚微米高精度曲率半径测量及其不确定度分析

摘要：

针对高精度光学系统的需求,利用立式Fizeau型干涉仪,结合双频激光测长干涉仪,实现了亚微米量级的高精度曲率半径的测量.为了验证该测量系统的可靠性,分别使用两个参考镜对一系列不同曲率半径的光学零件进行了检测.对产生测量误差的主要因素进行了详细分析,以SiC小球为例,结合不确定度理论,得到测量结果的不确定度约为0.13 μ m(假设是正态分布,置信水平约为95％),证明该测量系统满足亚微米测量精度要求.通过三坐标测量机对同一元件的交叉检测,验证了该系统测量结果的准确性.

关键词：测量、曲率半径、立式干涉仪、不确定度、交叉测量

所属期刊栏目：34

分类号：TH741;O436.1(仪器、仪表)

在线出版日期：2014-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：97-104