应用离子束修正大面形误差光学元件

摘要：

为了获得超高精度面形的光学元件并验证离子束的修正能力,对应用离子束修正大面形误差光学元件的问题进行了实验研究.通过改变离子源光阑尺寸的方式获得了不同束径的离子束去除函数,并对一直径为φ101 mm、初始面形峰谷(PV)值为417.554 nm、均方根(RMS)值为104.743 nm的熔石英平面镜进行了离子束修形实验.利用φ10、φ5、φ2 mm光阑离子源的组合,进行了12次迭代修形,最终获得了PV值为10.843 nm、RMS值为0.872 nm的超高精度表面.实验结果表明,应用离子束可以对大面形误差光学元件进行修正,并且利用更大和更小束径离子束去除函数的组合进行优化,可以进一步提升加工效率和精度.

关键词：光学制造、离子束、面形修正、去除函数

所属期刊栏目：34

分类号：TH161;TQ171.6+

资助基金：国家科技重大专项项目2009ZX02205

在线出版日期：2014-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：194-198