高精度瑞奇-康芒检测法研究及测试距离精度影响分析

摘要：

为实现高精度瑞奇-康芒法检测,利用检测系统光瞳面与被测平面镜二者间的坐标转换关系,结合最小二乘法直接对测得的系统波像差进行恢复,通过两角度检测分离由光路调整引入的离焦误差,得到更为精准的平面镜面形.分析光路中测试距离对坐标转换关系以及瑞奇角求解精度的影响,根据仿真分析结果确定实验方案.实验中采用两角度检测,对测试波前进行恢复并分离系统调整误差后,最终得到被检平面镜面形,结果峰谷(PV)值为0.182λ、均方根(RMS)值为0.0101λ,对比干涉仪直接检测结果PV值为0.229λ、RMS值为0.013λ,PV检测精度优于λ/20,RMS检测精度优于λ/100,实验结果证明了此种面形恢复方法的有效性以及测试距离精度分析理论的正确性,从而实现了瑞奇-康芒法高精度检测.

关键词：测量、瑞奇-康芒、精度分析、平面镜、面形误差、测试距离

所属期刊栏目：34

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家863计划2012AA040503;国家自然科学基金重点项目11034007

在线出版日期：2014-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：113-120