极紫外微通道板光子计数成像探测器性能研究

摘要：

基于CE 3极紫外(EUV)相机最高工作温度为70 ℃的要求,对EUV相机的微通道板(MCP)位置灵敏阳极光子计数成像探测器实验件在70℃时的性能进行了研究,该探测器主要由工作在脉冲计数模式下的MCP堆、楔条形感应电荷阳极及相关的模拟和数据处理电路组成.为了获得稳定的MCP堆电子增益及较小的暗计数率,对MCP堆进行了预处理,包括380 ℃条件下真空高温烘烤18h,以及电子清刷100 μA·h,并测量了预处理前后暗计数率;测量了探测器工作在室温和70℃时的暗计数率、空间分辨率、增益,测量结果表明探测器的空间分辨率为5.66 lp/mm,与室温下空间分辨率相同,暗计数率虽然小于1 counts/(s·cm2),但70℃暗计数率是室温的2～5倍;对探测器的使用寿命进行了初步分析.实验结果和分析表明探测器在空间分辨率、暗计数率、使用寿命等方面均满足EUV相机的要求.

关键词：探测器、光学器件、光子计数成像探测器、极紫外、微通道板、感应电荷楔条形阳极

所属期刊栏目：33

分类号：O433.1;TH744.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金61077016,61275152;吉林省科技发展重大项目20116013

在线出版日期：2013-12-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24