基于浮动支撑的620 mm薄反射镜面形主动校正

摘要：

对口径620mm、厚18 mm的弯月形薄反射镜进行了面形误差的主动校正实验,通过浮动支撑方式保证了在校正过程中镜面空间位置不变.实验主镜的支撑结构由轴向36个主动支撑点和侧向6个被动支撑点组成,在轴向支撑点中对称选择中圈3个点作为虚拟硬点,通过调整其他促动器的支撑力保证虚拟硬点受力始终为零来实现浮动支撑.系统采用哈特曼波前传感器作为面形检测设备,采用最小二乘法计算校正力.实验中测出系统的像差校正能力,选择中低频的Zernike像差参与校正,并进行了不同俯仰角下面形的闭环与开环校正,实验结果表明通过浮动支撑方式有效地控制了校正过程中镜面的平移和倾斜.在不同俯仰角下通过闭环校正,均可将镜面面形误差均方根(RMS)的初始值(约0.6λ,λ=632.8 nm)校正到约λ/15,开环面形校正精度的RMS达到λ/10～λ/14.通过实验研究了俯仰角变化时的面形校正过程和校正力计算方法,并验证了采用浮动支撑方式控制镜面空间位置的可行性.

关键词：光学设计、主动光学、面形误差校正、薄反射镜、浮动支撑、最小二乘法

所属期刊栏目：33

分类号：O438(光学)

资助基金：中国科学院第三期创新工程资助课题

在线出版日期：2013-07-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：79-87