同步辐射用光学元件面形绝对检测方法的研究

摘要：

为实现同步辐射用光学元件面形的绝对检测,发展了镜面旋转对称三平板检测法.该方法将菲佐干涉法检测到的波前函数关于y轴分解成镜面对称部分与镜面非对称部分,再利用N次旋转取平均值消除镜面非对称部分,从而通过计算获得待测平面的绝对面形分布.推导了镜面旋转对称法检测矩形平面镜面形的公式,应用该方法设计了高精度矩形平面镜的测试实验,并进行了误差分析.实验结果表明,与传统三平板绝对测量方法相比较,两种方法在高度轮廓误差和斜率误差方面的计算结果都符合较好,其对比后的残差均方根(RMS)值分别为λ/500(λ=632.8 nm)与0.93 μrad.

关键词：测量、菲佐干涉仪、绝对检测、镜面旋转对称、斜率误差

所属期刊栏目：32

分类号：TH744;TN247(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金11105215

在线出版日期：2012-12-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：129-135