任意相移阴影叠栅相位解调技术的研究
结合时域和频域干涉图分析方法,提出一种任意相移阴影叠栅条纹图相位解调技术,降低了干涉图在采样过程中对相移量的严格标定要求,补偿了相移阴影叠栅技术固有的相移不匀误差.使用空域技术确定采样干涉图的正交信号,进而得到了采样干涉图的相移量,然后运用任意相移相位提取算法搜索测量相位信息.实验证明此方法简单方便、求解迅速,且优于典型的相移算法,其测量误差的标准差不超过3×10 3mm,该方法为提高相移阴影叠栅技术的测量精度提供了有效手段.
测量、阴影叠栅、相移算法、任意相移、三维轮廓
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O439(光学)
国家重点基础研究发展计划(973计划);国家自然科学基金
2012-12-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
116-120