非晶氧化硅薄膜带尾发光特性

摘要：

采用等离子体增强化学气相沉积技术,通过改变CO2流量制备了不同氧含量的非晶氧化硅薄膜.利用紫外可见吸收谱、傅里叶红外吸收谱和稳态/瞬态光致发光谱等技术研究了薄膜的微观结构和光学特性.实验结果表明,随着氧含量的增加,薄膜的带隙增大,光致发光强度增加、峰值朝高能方向移动、光谱半峰全宽展宽.时间分辨光谱显示薄膜发光峰值处的衰减时间随氧含量的增加从6.2ns单调增加到21ns,而同一样品的发光寿命随发射波长能量增加而减小.综合分析光学吸收、发射及发光衰减特性表明,薄膜的发光机制主要归结为非晶材料带尾态之间的辐射复合.

关键词：光谱学、带尾态发光、光学吸收、时间分辨光谱、非晶氧化硅

所属期刊栏目：32

分类号：O433.4;O751(光学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：293-298