亚微米AZO光栅及其漫透射分布特性

摘要：

探讨亚微米掺铝氧化锌(AZO)光栅的漫透射光谱特性.在AZO薄膜上涂布光刻胶,用325 nm激光双光束干涉曝光得到掩模图案.将其置于质量分数为0.5％的稀盐酸溶液中湿法刻蚀,制备出周期(780～1280 nm)和高度(60～300nm)能独立调控的AZO一维光栅.正入射双向透射分布函数(BTDF)测试结果表明,400～900nm波段内平均镜面透射率随光栅周期增大而降低,与紫外-可见分光光度计测得的结果吻合；同时,周期越大被衍射到30°～80°范围内的漫透射比重和漫透射峰值均越大,面峰位角越小.根据光栅方程对实验结果给出了合理的解释.

关键词：光栅、掺铝氧化锌、双向透射分布函数、激光干涉法、湿法刻蚀

所属期刊栏目：32

分类号：O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金;上海市重点科研项目

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：281-286