基于飞秒激光加工的马赫-曾德尔干涉氢气传感器

摘要：

介绍了一种基于光纤微加工的氢气传感技术方案.利用波长为800 nm的飞秒激光脉冲在普通单模光纤上加工马赫-曾德尔(M-Z)干涉腔,并采用磁控溅射方法在加工后的M-Z干涉微腔上溅射钯(Pd)膜,制备了一种新型的光纤氢气传感器.分析了加工工艺对微腔干涉效果的影响,选择合适的加工参数以及加工后对微腔进行后续处理,可使微腔的透射光谱的分辨率得到提高.实验研究了腔长为40 μm的MZ干涉传感器分别镀36 nm、110 nmPd膜后,对氢气的响应.结果表明,在不同的氢气浓度下,镀Pd膜的M-Z干涉传感器都表现出对氢气的敏感特性,随着氢气浓度的增大,透射光谱会向长波长方向偏移,其中Pd膜厚度为110 nm比厚度为36 nm的传感器对氢气有更好的灵敏度.

关键词：传感器、马赫-曾德尔干涉、飞秒激光、氢气、磁控溅射

所属期刊栏目：32

分类号：O436(光学)

资助基金：国家自然科学基金60908020

在线出版日期：2012-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：78-83