校正低阶像差的9点促动变形镜——设计与实验

摘要：

设计一有效口径为120mm的连续镜面、分立促动器的变形反射镜并进行了检测实验.以产生离焦、像散和彗差为目标,对变形镜的各项参数进行了优化,优化后的变形镜支撑有9个促动器和3个固定支撑点.固定点用于实现变形镜的定位,促动器用于镜面面形的控制.促动器采用了直线步进电机配合弹簧的结构,将电机的步进位移转换为力,在一定的线性范围内实现高精度的力促动.变形镜的检测设备采用了4D动态干涉仪,经响应函数的确定、校正力的求解和施加以及镜面再检测的步骤后,得到的实验结果表明变形镜能够产生高精度离焦、像散和彗差,且具有较大的动态范围.

关键词：变形镜、连续镜面、像差校正、响应函数

所属期刊栏目：32

分类号：O438(光学)

在线出版日期：2012-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：189-194