基于激光直写的微流光学触摸传感阵列

摘要：

设计并制作了一种基于激光直写技术的光学触摸传感器件.该器件采用光学微流结构实现对外加压力的连续比例测量.器件制作采用紫外激光直写技术配合高精度平移台实现,整体工艺过程在3 min内完成.对所设计的传感器件的性能测试表明,光强信号随外力变化的曲线平滑,实测灵敏度为0.995 mV/kPa.同时设计并制作了基于传感单元的阵列结构,不仅消除了光学累积误差,而且对集成化触摸传感的应用具有优势.

关键词：集成光学、光学设计、触摸传感、阵列

所属期刊栏目：32

分类号：TN256(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2012-07-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：111-116