基于金属——介质薄膜的反射型彩色滤光片

摘要：

基于诱导反射原理设计了一种可见光波段金属-介质薄膜结构的反射型彩色滤光片.高吸收铬和高反射铝的应用使它既能获得高反射率又有很高的宽波段截止度,通过改变介质匹配层的厚度实现适当的导纳匹配,得到了反射率大于72％、较高色饱和度的红绿蓝三色滤光片.实验制作了样品,测试结果与设计相吻合.基于半色调技术,采用光刻和剥离工艺制备了不同面积占空比的滤光片阵列,实现了高分辨率、介于红绿蓝三色之间中间色的光学反射单元.

关键词：光学薄膜、彩色滤光片、诱导反射

所属期刊栏目：31

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：浙江省自然科学基金YI090504;中央高校基本科研业务费专项资金2010QNA5036

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：304-307