背向曝光表面等离子体激元干涉光刻系统中银层超透镜的优化设计

摘要：

利用表面等离子体激元(SPP)的局域能量增强效应可提高现有光学光刻的分辨率.背向曝光SPP干涉光刻技术可以大面积制备低成本的纳米周期性结构.理论分析了SPP在背向曝光系统中的共振透射特性,提出了背向曝光SPP干涉光刻系统核心元件——银层超透镜的优化设计方法,并利用时域有限差分法和理论解析式模拟计算了背向曝光SPP干涉光场分布,通过优化设计银层超透镜厚度和共振角,实验获得了较好的周期性光刻线条.

关键词：表面光学、表面等离波子激元干涉光刻、背向曝光、银层超透镜

所属期刊栏目：31

分类号：O436.1(光学)

资助基金：乐山师范学院项目;四川省教育厅科研项目;乐山市科技局重点项目

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：230-234