红外光谱仪多级微反射镜模拟分析及制作研究

摘要：

随着环境科学、气象监测和空间探测等前沿基础研究领域的发展,可便携、实时监测的光谱仪器的需求变得更加迫切.以多级微反射镜为关键器件的空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪体积小、无可动部件,可实现实时检测与在线监测.模拟分析了多级微反射镜的台阶高度及表面粗糙度对复原光谱的影响,得到多级微反射镜的台阶高度允许的最大误差为士0.18 μm,反射面表面粗糙度的最大容限为150 nm和200 nm.根据实验研究及对比分析,选用多次光刻-电镀方法制作了多级微反射镜.测试表明,以此方法制作的多级微反射镜表面粗糙度均方根(RMS)值为90.23 nm,台阶高度误差值为士0.1μm,基本满足系统的设计要求.

关键词：光学设计与制造、傅里叶光学、多级微反射镜、空间调制、阶梯高度、表面粗糙度

所属期刊栏目：31

分类号：O433.4(光学)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）;国家自然科学基金

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：220-224