光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究

摘要：

为了对光刻物镜的像差进行补偿,设计了一种主动液体透镜,并分析了该主动液体透镜变形过程中的像差变化特性.用去离子水、氟化锂设计了一种主动液体透镜,在考虑重力及静水压力的情况下,分别计算了一点至六点均布、各点均匀施加载荷作用下镜片的变形；然后对变形镜片的挠度进行了Zernike多项式拟合,得到了各标准Zernike多项式系数所表示的像差与机械挤压力之间的函数关系.计算表明:主动液体透镜的各标准Zernike多项式系数值随受力大小呈强线性关系；除一点受力变形外,在多点受力变形情况下主动液体透镜像差的前三项均为piston,defocus及n-foil;主动液体透镜对piston项及defocus项这两种像差的调节能力随受力点的增加有增强趋势,而对其他类型像差的调节能力则呈下降趋势.

关键词：主动光学、自适应光学、主动变形透镜、像差补偿、有限元法、泽尼克多项式拟合

所属期刊栏目：31

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：国家02专项基金项目2009ZX02005

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：207-213