温度对Fizeau干涉仪测量重复性的影响

摘要：

高精度的重复性是保证检测精度的前提,也是精密检测中最重要的指标之一.在Fizeau干涉仪中,干涉腔对环境特别是温度的变化非常敏感,温度的变化和非均匀性是测量的主要误差来源,也是影响测量重复性的主要因素之一.通过研究光在空气中的传播原理,利用Edlen公式建立了Fizeau干涉仪干涉腔的理论模型,并给出了腔长、温度变化大小与干涉仪重复精度的定量关系.理论分析表明,干涉仪重复精度主要跟温度变化大小和干涉仪腔长有关.利用ZYGO公司的干涉仪,通过实验给出了在不同环境中、不同腔长下干涉仪测量重复精度的变化,并与理论计算进行了比较和分析.

关键词：测量、Fizeau干涉仪、干涉腔、Edlen公式、重复精度

所属期刊栏目：31

分类号：O439(光学)

资助基金：国家科技重大专项2009ZX02205

在线出版日期：2012-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：139-143