MSM结构Mg0.2Zn0.8O可见盲光电探测器

摘要：

采用射频磁控溅射,通过传统的紫外曝光和湿法腐蚀的方法,制备了不同电极间距的金属-半导体-金属(MSM)结构Mg0.2Zn0.8O可见盲光电探测器.研究了器件的暗电流和响应度随电极间距的变化关系,当施加的电压没有达到贯穿电压的时候,暗电流和响应度均随着电极间距的增加而减小,并对其具体的机制进行了研究.

关键词：光电探测器、氧镁锌、响应度、暗电流、金属-半导体-金属(MSM)结构

所属期刊栏目：31

分类号：O472.8(半导体物理学)

资助基金：吉林省科技发展计划项目201101103;国家大学生创新性实验计划2010A0637

在线出版日期：2012-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：17-20