绝对检验参考镜误差分析与热变形模型建立

摘要：

绝对检验是提高菲佐(Fizeau)型干涉仪参考面面形精度的重要方法.研究了过程中温度、重力和夹持力对绝对检验精度的影响.采用Gram-Schmidt拟合方法对参考面面形的变形量进行了拟合,分析了K9、融石英和微晶材料的参考镜均匀温度变化下的热变形及由于热变形导致的相应泽尼克(Zernike)系数的变化.最后,分析了变形量对应的面形误差,建立了每种材料的热变形模型.结果表明,经过重力、夹持力和温度三者的叠加耦合,温度变化产生的变形量与温度变化量仍呈近似的线性关系.在相同的外界条件下,融石英材料产生的整体变形量最小;而微晶材料产生的热变形量最小.微晶参考面由于热变形产生的面形变化量均方根为O.37 nm/℃.

关键词：绝对检验、热变形模型、泽尼克拟合、Gram-Schmidt拟合

所属期刊栏目：31

分类号：O439(光学)

资助基金：国家科技重大专项08Q03FQ085

在线出版日期：2011-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：59-67