数字刀口仪定量检验非球面光学元件面形

摘要：

构建了一台数字化刀口仪,利用该数字刀口仪对二次非球面光学元件进行实际检验,获得了非球面光学元件表面面形的均方根(RMS)值和峰谷(PV)值.将数字刀口仪测量结果与干涉仪测量结果进行比较,测量结果的一致性在0.001μm以内,验证了数字刀口仪定量检测非球面光学元件的可行性以及所研究的数字刀口仪的准确性.最后对测量结果进行了讨论.

关键词：测量、非球面光学元件、刀口检验、波像差

所属期刊栏目：31

分类号：O439(光学)

在线出版日期：2011-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：140-143