干涉检测中环境温度引起的镜面变形分析

摘要：

在达到1 nm量级的光学元件表面面形干涉检验时,被检元件由温度变化引起的面形偏差是不能忽略的.分析了干涉检验时存在的各种环境温度情况,对不同情况下被检元件内外温度分布进行了仿真,并将温度场作为静力学分析的载荷条件,进行了镜面温度变形分析.计算出了带支撑的直径为300 mm凸球面透镜在不同温度分布下的镜面变形量,并通过球面拟合计算出面形的峰谷(PV)值和均方根(RMS)值,得出要保证1 nm精度的面形测量就需要保证环境温度水平漂移不超过±0.1℃,镜子轴向温度差不超过士0.05℃,直径方向温度差不超过±0.1℃的结论,为高精度面形检测的实施提供了参考.

关键词：光学检测、凸透镜、热变形、环境温度、有限元法

所属期刊栏目：31

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：创新基金

在线出版日期：2011-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：135-139