非球面测量中零位计算全息的测量不确定度分析研究

摘要：

非球面在光学系统中具有非常重要的作用.基于零位补偿计算全息(CGH)的干涉测量方法,因精度高、信息量大、调校方便,在光学计量和制造业领域受到广泛重视.以F数为4抛物面为测量样品,以光学计量领域比较成熟的平面、球面波象差,采用自准直方法,测出抛物面面形波象差;再用零位补偿CGH方法测量同一块样品,研究零位补偿CGH的误差传递数据.通过主要原理误差分析与计算,在光学熔融石英平面基底上制作零位补偿CGH,测量不确定度达到λ/10[峰谷值(PV),λ=0.6328μm],满足非球面波象差光学计量的要求.

关键词：测量、非球面、波像差、标准球面、抛物面、干涉测量

所属期刊栏目：31

分类号：O436.1(光学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2011-05-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：111-115