红外短波/长波分色片的研究

摘要：

短波红外/长波红外分色片在红外双波段成像光学系统中起着重要的作用.分析了分色片基板和薄膜材料的选择.选定硒化锌为基板,采用Ge,ZnSe和YbF_3作为薄膜材料进行了优化设计,并对沉积温度和蒸发速率等工艺条件进行了优化,用电子束蒸发方法制备了该分色片,其反射率和透射率都达到了93%以上,已成功应用于实际光学系统中.

关键词：薄膜光学、分色片、硒化锌基板、红外双波段成像光学系统

所属期刊栏目：30

分类号：TB443(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金60778025

在线出版日期：2010-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：597-601