可调波长半导体激光法布里-珀罗干涉仪

摘要：

为了对激光十涉仪、高精度位移传感器等测量系统进行纳米级精度的非线性误差校准,需进一步提高中国计量科学研究院与清华大学合作研制的差拍F-P 干涉仪的线性度、稳定性及测量范围.在合理分析空气折射率变化及He-Ne激光器纵模调谐范围等因素对测量的影响基础上,设计并制作了密封干涉光路的真宅系统,并用调谐范围较大的半导体激光器作为工作激光器.实验结果表明,系统在大于1/4波长的行程范围内的线性度有明显的提高,最大非线性误差由8.93 nm减小至1.19 nm.

关键词：纳米测量、法布里-珀罗(F-P)干涉仪、非线性误差校准、可调谐半导体激光

所属期刊栏目：28

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金50410479,50575116资助课题

在线出版日期：2008-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1296-1300