基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统

摘要：

提出和建立了基于白光干涉的自稳定定量相位成像系统.该系统以柯勒照明的白光迈克耳孙干涉计为基础,使用自稳定锁相电路以减少相位噪音,引入相移装置获得定量的相化位图像.实验分别以平面镜、标准测试图和聚苯乙烯小球为样品.获得了清晰的定量相位图像,实现了对样品的实时观测.该装置采用卤素灯照明,达到轴向分辨力5 nm,系统中的柯勒照明结构使其具有高空间相干性.实验结果表明,该装置能有效避免系统中其他光学表面(如系统中的透镜表面)干扰信号的影响.

关键词：白光干涉、定量相位成像、迈克耳孙干涉、柯勒照明、自稳定

所属期刊栏目：28

分类号：TH741.4(仪器、仪表)

资助基金：国家863计划2006AA042237;国家自然科学基金50775205资助课题

在线出版日期：2008-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1279-1282