用计算全息标校补偿器的技术

摘要：

用计算全息(CGH)模拟理想非球面主镜的反射波面,用补偿器对该计算全息进行检验,只要计算全息的制作误差能够满足要求,就能实现直接对补偿器的标校.介绍了计算全息标校补偿器的原理、方法,并进行了误差分析.实验采用电子束制作的计算全息实现了对φ850 mm F/2抛物面主镜补偿器的标校,补偿器产生的标准非球面精度不低于计算全息模拟的主镜面形精度,均方根(RMS)误差为0.012λ.研究表明,用计算全息模拟主镜反射波面对补偿器进行标校是一种行之有效的方法,结合先进的微电子制造技术,可实现对补偿器的高精度标校.

关键词：非球面检验、补偿器标校、计算全息、零检验

所属期刊栏目：27

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家重点基础研究发展规划973计划51332030201

在线出版日期：2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：2175-2178