10.3321/j.issn:0253-2239.2007.10.012
误差扩散法设计用于惯性约束聚变驱动器的色分离光栅-光束采样光栅集成元件
针对多次曝光法制作集成衍射光学元件时存在的加工制作复杂,会引入较大的对位误差等问题,基于计算全息中的误差扩散编码原理及部分相干光成像理论,提出采用误差扩散编码方法来设计用于制作浮雕结构集成元件的编码掩模的新方法.给出了利用误差扩散法设计的色分离光栅-光束采样光栅(CSG-BSG)集成元件编码掩模,模拟计算了经部分相干成像系统后的空间像光强分布,并与理想的集成元件面形进行了比较.结果表明,校正后均方差为7.5%,体积偏差为10.2%.
集成光学、误差扩散、灰阶编码、色分离光栅(CSG)、光束采样光栅(BSG)、惯性约束聚变驱动器
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TL632+.1(受控热核反应(聚变反应理论及实验装置))
国家自然科学基金-中国工程物理研究院NSAF联合基金10376019
2008-08-04(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
1788-1792